Transcript フロアーマップ
：消化器 S 装置配置図 B1F ：消火栓 ：ＣＲ酸素濃度表示 ：自吸式呼吸器 昼夜連続運転機器 ：緊急警報 警 報 ブ ザ ー 自吸式呼吸器 S 制御電源 サーモバック ﾏｽｸﾚｽﾅﾉ構造 形成装置 (ｴﾘｵﾆｸｽ) プラズマリアクタ UVO3クリーナー 電気炉 5-001 スピンコーター (RC8) ドラフト 冷蔵庫 保管棚 プラズマ CVD RTO 酸化炉 UV露光 装置 5-002 レーザ顕微鏡 ドラフト 電子ビーム 露光装置 (S-4300) S 有機 S ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ (廃液回収用) 用役室 電子ビーム 蒸着 明暗視野 光干渉式 触針式 膜厚計 膜厚計 顕微鏡 MZ50 搬 入 口 前室 更衣室 ダムウエーター 真空ポンプ コンプレッサ (各種機器用) ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀ 作業台 シングルイオン 注入装置 レジスト ｱﾙｶﾘ 保管庫 有機 無機 ｽﾋﾟﾝｺｰﾀ (ミカサ) ｴｱ ｼｬﾜｰ 酸 廃液保管庫 CCP RIE 用役機械室 空調機械室 超純水 DEEP ICP RIE 薬品庫 O2 2006.3.2現在 Ar N2 2m 物 品 一 時 保 管 庫 1F 装置配置図 ：消火栓 昼夜連続運転機器 ：消化器 S S 危険物一時保管庫 警 報 ブ ザ ー ：自吸式呼吸器 ：緊急警報 S Ｈ２ボンベ （警報） 電子ビームリソグラフィ （局所化学修飾装置） ICP-RIE エキシマ 照射装置 スパッタ装置 (SPF332H) S 消火栓 屋外窒素発生器 S ｼｬﾜｰ 前室 デシケータ 廃液保管棚 Miniscope ﾌﾟﾗｽﾞﾏ表面処理 及ｲｵﾝｺｰﾀ 装置 EVG810 ホットエンボス EVG520 超 精 密 天 秤 精 密 ﾃﾞｼﾞﾀﾙ 天 ﾏｲｸﾛｽｺｰﾌﾟ 秤 測 長 顕 微 鏡 中和装置 O2 ボンベ ｴｱ ガス保管庫 更衣室 スプレーコーター EVG101 酸素濃度センサ 液化窒素供給設備 ：ＣＲ酸素濃度表示 Ar ボンベ ダムウエーター N2 ボンベ コンプレッサ 地震監視システム 監視モニタ COE/NFD事務室 スパッタ装置 (SPC350) 監視モニター 酸欠警報BOX 遠方操作盤 連動操作盤 薬品庫 定温 乾燥機 会議室 ＦＩＢ アニール炉 ボンド用アライナ (ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ) EVG620 ﾌﾞﾗｼ付ﾒｶﾞｿﾆｯｸ洗浄装置 ＥＶＧ３０１ ドラフト ｱﾙｶﾘ ﾌｯ酸 酸 有機 2m 2006.3.2現在 ：消火栓 ：消化器 ２F 装置配置図 ：ＣＲ酸素濃度表示 S ：自吸式呼吸器 緊急シャワー ：緊急警報 警 報 ブ ザ ー 201 走査プローブ 顕微鏡 多目的 実験台 202 超精密天秤 多目的実験 スペース ﾃﾝｺｰﾙ 薬 品 庫 ﾌｯ酸 人材育成電 ﾒｶﾞｿﾆｯｸ 解ﾒｯｷ装置 ＷＹＣＯ グロー放電装置 洗浄槽 有機 ｱﾙｶﾘ 磁気工学測定装置 量子干渉型磁束計 ド ラ フ ト 分光光 度計 ド ラ フ ト 超純水製造装置 流し メッキ装置 酸 ド ラ フ ト ナ ノ メ ッ キ シ ス テ ム 蛍光観察装置 ダムウエーター 汎用ＳＥＭ ボンダ、ダイボンダー A 有機 B 電気特性計測 冷蔵庫 薄膜物性 評価装置 ＳＥＭ前処理装置 ド ラ フ ト ＣＶメータ ESCA FE-SEM CMP研磨システム CMP-1 純水生成 卓上用 装置 C ｱﾙｶﾘ ＣＭＰ-２ 薬 品 庫 共通薬品庫 ダイシングソー 薬 品 庫 ｱﾙｶﾘ 薬品庫 酸 消耗品棚 電気化学 プロセスルーム 精密天秤 DMFC関連装置 CCD 顕微鏡 205 203 電気化学 薬品保管 プロセスルーム 冷蔵庫 ナノ 計測ルーム ＡＦＭ装置 204 流し イ オ ン コ 微分干渉 ー タ 顕微鏡 半導体パラメータ アナライザー プローバ 給湯器 流し 恒温プローバ 2m 2006.3.2現在 共 通 薬 品 、 廃 液 一 時 保 管 庫 変更履歴 ０６．３．２の変更 1F-CR……エキシマ照射装置、卓上SEM(Miniscope)及びイオンコータを追加。プラズマICPをICP-RIEに名称改正。 2F-202……メッキ装置関連機器を電解メッキ装置（人材育成）に変更。CCD顕微鏡を表示。分光光度計を追加。 2006.3.2現在