(フッ素樹脂の概要)講演資料

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フッ素樹脂の概要
イワキコーティング工業
会社概要
社長挨拶
フッ素樹脂(PTFE)は、1938年デュポン社研究員ロイ・J・プランケット博士によって発見されま
した。
発見から現在までフッ素樹脂は、勇気ある改善提案者と意欲ある製造者たちによって多くの用
途開発が試みられ、家庭用品を始め、食品・化学・医療・自動車・コンピュータ・原子力・航
空機などの分野で無くてはならない材料として活躍しております。
フッ素樹脂がこれらの用途で活躍できるのは、フッ素樹脂が持っている特性(非粘着性・耐熱
性・すべり性・電気絶縁性・耐蝕性など)を理解し、夢を実現化するためチャレンジした結果で
す。
今、『フッ素樹脂』と耳にして『新しい素材』と感じるのは、フッ素樹脂が無限の可能性を秘めた
若々しい素材であり、今後の新しい分野で開発を担う素材であることを暗示しているように感じ
るからです。
イワキコーティング工業㈱は、勇気ある改善提案に成果でお応えする企業として、フッ素樹脂の
特性を確実に発揮させることで、微力ながら社会に貢献したいと考えております。
イワキコーティング工業 株式会社
代表取締役 友成 節夫
会社概要
基本方針
○世界一の技術集団を目指す。
○客先ニーズに対応し、不可能を可能な技術に変換する。
○客先要求に迅速な対応を行い、客先の信頼と満足を勝ち取る。
品質方針
○お客様に満足され、信頼される製品を提供する。
○新たな仕事の基盤をつくり、基準を守って仕事を行う。
○妥協のない品質を求める。
社名の由来
○イワキコーティング工業㈱のイワキとは、聖徳太子の[和を以って貴しと成す][以和貴]を
由来としています。
○[人と縁ありて知り、和を以って接す]
○人は天と地を尊び、天地人の和を汚してはならない。
★イワフロン 及びIWAFRON はイワキコーティング工業㈱の商標です。★
会社経歴
1.経歴
1) 会社名
イワキコーティング工業株式会社
2) 代表者名
代表取締役 友 成 節 夫
3) 代表者生年月日
1947,5,5
4) 会社所在地
5) 連絡先
〒861-0904
熊本県玉名郡和水町東吉地字高倉1034番地
TEL 0968-34-2831
FAX 0968-34-2072
6) 資本金
25,000,000円
7) 創業
1994,5,12
8) 従業員数
15名
9) 事業内容
フッ素樹脂コーティング・ライニング
10) 事業の特色
化学機器・半導体製造装置・液晶製造装置・原子力発電所設備・
製紙機械部品・食品製造機械部品・光学機器部品などへの
フッ素樹脂コーティング・ライニングが得意分野である。
11) 取引銀行
肥後銀行 南関支店
三井住友銀行 大牟田支店
国民金融公庫 熊本支店
2.経営理念
【フッ素樹脂の特性を極限まで発揮させることで、社会に貢献する】
会社経歴
3.役員
代表取締役
取
締
役
監
査
役
友 成
友成
渡 辺
節 夫
千代美
敏 子
4.株主
友
成
節
夫
熊 本 県 企 業 化 支 援 セ ン タ ー
友
成
千
代
美
220株
200株
80株
会社経歴
5.主要設備
1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
工場敷地
約1,000坪
工場建屋
約200坪
フッ素樹脂焼成 27台(MAX 5000×3500×5000H 1台)
フッ素樹脂塗装 12式
下地処理装置
一式
検査装置
一式
その他フッ素樹脂コーティング・ライニングに必要な設備一式
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
ベローズ・フレキ
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
石英ガラス製スノコ
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
チャンバー
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
吸着パッド・真空チャック
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
真空ポンプ用部品
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
ガスイントレット・ガス配管・ガスバルブ
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
クランプリング
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
配管
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
メッキ治具
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
リング
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
その他半導体部品
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
半導体製造装置関連
半導体製造装置に関わる部品にフッ素コーティング施工を行うことで、ほとんどのプロセスガス及
び薬品に耐えることが可能となり、使用用途が広がります。
また、反応生成物などが容易に除去できます。
これらにより、安全性・歩止りが向上し、メンテナンス時間が短縮できるといったメリットがあります。
その他半導体部品
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
液晶製造装置関連
液晶製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、その部品に汚れ
がつきにくくなり、メンテナンス性が向上します。
回転カバー
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
液晶製造装置関連
液晶製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、その部品に汚れ
がつきにくくなり、メンテナンス性が向上します。
タンク
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
液晶製造装置関連
液晶製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、その部品に汚れ
がつきにくくなり、メンテナンス性が向上します。
検査テーブル(剥離帯電防止用)
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
食品製造装置関連
食品製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、部品への付着が
少なくなり、メンテナンスが用意となります。
また、付着が少なくなることで食品の搬送がスムーズになり、装置の連続稼動
を可能にします。
食品製造装置部品
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
食品製造装置関連
食品製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、部品への付着が
少なくなり、メンテナンスが用意となります。
また、付着が少なくなることで食品の搬送がスムーズになり、装置の連続稼動
を可能にします。
食品製造装置部品
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
食品製造装置関連
食品製造装置に関わる部品にフッ素コーティングすることで、部品への付着が
少なくなり、メンテナンスが用意となります。
また、付着が少なくなることで食品の搬送がスムーズになり、装置の連続稼動
を可能にします。
蒸米機
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
化学
タンクなどの内面にコーティングすることで耐食性が向上し、さまざまな薬品を
扱えるようになります。
タンク
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
化学
タンクなどの内面にコーティングすることで耐食性が向上し、さまざまな薬品を
扱えるようになります。
攪拌羽根
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
化学
タンクなどの内面にコーティングすることで耐食性が向上し、さまざまな薬品を
扱えるようになります。
ドラムロール・ロール
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
その他
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
ホイール
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
その他
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
スプリング
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
その他
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
エキゾースト
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工例
その他
その他、いろいろなものへコーティングが出来ます。
目的も多彩で、耐薬性・外観・すべり性などがあります。
その他
このほかにも多数実績があります。
コーティング施工の工程
詳細打合せ
お客様のニーズ
要求機能・品質
グレード設計
試作・試験・評価
受け入れ検査
ご要望~受け入れ
お打ち合わせにより、どういったコーティング施工をするかを決定します。
また、ご基材の異常(クラック・曲がり等)の有無をチェックします。
コーティング施工の工程
中間検査・繰り返し
脱脂・
下地処理
プライマー
処理
フッ素樹脂
塗装
焼成
コーティング前処理
まず、加熱処理で表面の旧皮膜・油分などの異物を劣化させます。
その後、サンドブラストにて表面をクリーンな状態にします。
このサンドブラストには、語基材とフッ素樹脂の密着性を高める効果もあります。
こういった前処理を終えたものを、コーティング施工いたします。
コーティング施工の工程
検査
梱包
検査~出荷
目視検査・撥水検査・ピンホール検査などのチェックを行い、コーティングの合否
の判定を行います。
そして合格したものを梱包・出荷いたします。
グレード 一覧表
グレードシリーズNo.
膜厚
目的
主な用途例
製パン用天板、ピンセット、スクレパー
IW-DA100シリーズ
30μm~
(CA100)
50μm
非粘着性・すべり性
食品金型、ファン、ケーキ焼き型、包丁
ドラム、ボルト、ナット、コンベアー
炊飯器、アイロン、刃物、加熱シーラー
冷凍食品金型、玉子焼き器、フライパン、
IW-DA200シリーズ
40μm~
80μm
非粘着性・すべり性
製パン用天板、シュート、ホッパー、計量器
焼物金網、塗装フック、包装機、包餡機
金型、加熱ロール、炊飯器etc.
半導体製造関連部品、食品製造装置部品
IW-DA300シリーズ
40μm~
(CA300)
70μm
非粘着性・すべり性
接着剤製造装置用機器、塗装製造装置
砂糖製造装置用機器、各種金型、ロール
攪拌翼、タンク、配管、バルブ、計量皿
グレード 一覧表
グレードシリーズNo.
膜厚
目的
主な用途例
半導体製造関連部品、メッキ装置部品
IW-DB300シリーズ
100μm~
耐蝕性・非粘着性
化学プラント用タンク、攪拌翼、保護管
1000μm
・すべり性
食品用コンベアー皿、製氷機部品、配管
接着剤製造装置用機器、塗料製造装置
化学プラント用機器への外装、ボルト
IW-DB400シリーズ
100μm~
耐候性・防食性
ナット、橋梁への外装、防塵ネット、防音壁
(AA400)
1000μm
・防汚性
トンネル内壁及び内壁使用部品
塩害対策部品etc...
半導体製造関連部品、メッキ装置部品
IW-AB500シリーズ
70μm~
耐蝕性・電気絶縁性
スプリング、SUS金網、バケット、配管
(DB500)
3000μm
・非粘着性・耐摩耗性
化学プラント用タンク、攪拌翼、保護管
目皿、コンベアー皿、製氷皿、ホッパー
グレード 一覧表
グレードシリーズNo.
膜厚
目的
主な用途例
半導体製造関連部品、ポンプ、バルブ
IW-AE500シリーズ
50μm~
耐蝕性・耐摩耗性
無電解メッキ槽、電気メッキ槽、配管
4000μm
・非粘着性
化学プラント用タンク、攪拌翼、タワー
流量計、濾過機、コンテナーローリー
半導体製造関連部品、化学プラント機器
IW-DB800シリーズ
50μm~
耐蝕性・耐摩耗性
無電解メッキ槽、電気メッキ槽、治具類
(CB800)
1000μm
・非粘着性・すべり性
遠心分離機、製紙ロール、コピーロール
フィルタープレス、食品製造用機器etc...
合成ゴムプラント用機器、飛散防止板
IW-EA900シリーズ
50μm~
1000μm
非粘着性・耐摩耗性
ゴム製造機器、ロール、台車、配管外面
付着防止壁、ダクト、トンネル内壁
工場床面、煙突、コンクリート槽etc...
フッ素樹脂特性一覧表
単位
ASTM
試験法
PFA
樹脂
PTFE
樹脂
FEP
樹脂
ETFE
樹脂
伸び
%
D638
280
200~40
250~330
200
圧縮強さ
kg/㎝2
D695
165
120
150
500
曲げ弾性率
103kg/cm2
D790
6.7
3.5~6.3
6.7
14
衝撃強さ
(アイゾット)
kg・cm/cm
D256
破壊せず
16.3
破壊せず
破壊せず
衝撃強さ
デュロメーター
D1706
D 60
D 55
D 55
D 75
-
-
0.05
-
-
-
0.2
0.1
0.3
0.4
C177
6.2
5.9
6
5.7
0.25
0.25
0.28
0.46~0.47
12
9.9
8.3~10.5
9~93
項目
機械的
性質
静摩擦係数
動摩擦係数
熱的
性質
7kg/cm2・3m/min
熱伝導度
10-4cal/cm・sec・℃
比熱
cal/cm/g
-5
線膨張係数
10 /℃
D696
(21~
100℃)
(23~
66℃)
(-73~
71℃)
(20~
90℃)
連続使用温度
℃
-
260
260
200
150
4.6kg/cm2
℃
D648
74
121
72
104
18.5kg/cm2
℃
D648
47
55
50
74
熱変形温度
フッ素樹脂特性一覧表
項目
物理的
性質
単位
比重
PTFE
樹脂
FEP
樹脂
ETFE
樹脂
D792
2.12~2.17
2.14~2.20
2.12~2.17
1.7
℃
D792
302~310
327
253~282
270
体積抵抗値
Ω・cm
D257
>1018
>1018
>1018
>1016
表面抵抗率
Ω
D257
>1016
>1016
>1016
5×1014
D149
20~24
16~24
20~24
16
60Hz
D150
<2.1
<2.1
2.1
2.6
103Hz
D150
<2.1
<2.1
2.1
2.6
105Hz
D150
<2.1
<2.1
2.1
2.6
60Hz
D150
<0.0002
<0.0002
>0.0002
0.0006
103Hz
D150
<0.0002
<0.0002
<0.0002
0.0008
105Hz
D150
<0.0003
<0.0002
<0.0002
0.005
D495
>300
>300
>300
75
耐薬品性
D543
優
優
優
優
燃焼性
D635
不燃
不燃
不燃
不燃
D570
0.03
<0.01
<0.01
0.029
誘導率
誘電正接
耐アーク性
その他
PFA
樹脂
融点
(1/8インチ厚)
絶縁破壊強さ
電気的
性質
ASTM
試験法
吸水性
KV/mm
sec
%
フッ素コーティング グレード表
施工仕様・品番
主 耐熱
材料 温度
色調
標準
膜厚
非
粘
着
性
非粘着用
施工仕様
IW-DA155
IW-CA151
IW-KR195
IW-DA385
IW-DA305
IW-KR385
IW-AB502
IW-DA835
IW-KR815
IW-KR885
IW-KX895
PTFE
PTFE
PTFE
FEP
FEP
FEP
ETFE
PFA
PFA
PFA
PFA
260℃
緑
260℃
緑
260℃
黒
200℃ グレー系
200℃ グレー系
200℃
白系
180℃
透明
260℃ グレー系
260℃
白系
260℃ グレー系
260℃ 黒(ツヤ消し)
30μm ○
100μm ◎
40μm ○
40μm ◎
40μm ◎◎
50μm ◎
80μm △
50μm ○
50μm ○
70μm ○
50μm ○
耐蝕用
施工仕様
IW-AB590
IW-AB500
IW-DB505
IW-DE500
IW-DB891
IW-CB831
IW-KR815
IW-DB391
IW-KR385
ETFE
ETFE
ETFE
ETFE
PFA
PFA
PFA
複合
複合
180℃
180℃
180℃
180℃
260℃
260℃
260℃
200℃
200℃
600μm
600μm
1.5mm
3.0m
1.5mm
400μm
400μm
1.5mm
500μm
黒
黒
黒
白系
黒
薄茶・黒
白系
黒
白系
△
△
△
△
○
○
○
◎
◎
IW-DB305 複合 200℃
黒
1.0mm ◎◎
高純度対応
IW-DB505 ETFE 180℃ グレー系 1.0mm ○
耐蝕施工仕様
IW-DB805 PFA 260℃ ダークグレー 500μm ◎◎
特殊比較の目安
低 耐 絶 帯
摩 磨 縁 電
擦 耗 性 防
性 性
止
耐
蝕
性
◎
◎
◎
○
○
○
△
○
○
○
○
△
○
△
△
△
△
◎
○
○
◎
○
× 非粘着性・低摩擦・耐摩擦性に優れたグレード。高真空用。
×
真空ポンプ専用グレード。高真空用。
×
静電気対策グレード。高真空用。
×
非粘着性が特に優れたグレード。高真空用。
×
静電気対策グレード。高真空用
×
静電気対策グレード。高真空用
△
防錆効果に最適なグレード。
△
高温使用向け非粘着グレード。高真空用。
△
静電気対策グレード。高真空用
△
静電気対策グレード。高真空用。
△
静電気対策グレード。高真空用
△
○△
△
△
○
○
○
○
○
◎◎
◎◎
◎◎
◎◎
◎◎
◎
◎
○
○
○
○
○
○
◎
◎
×
×
×
×
×
×
△
×
×
×
×
×
×
◎◎
×
×
◎◎
×
×
◎◎
◎◎
◎◎
○ ×
◎
◎ ×
◎
× ◎◎ ◎
◎ ×
◎
◎ × ◎◎
◎ × ◎◎
× ◎◎ ◎◎
◎ × ◎◎
× ◎◎ ◎◎
◎
◎
◎
×
×
×
◎◎
◎◎
◎◎
特記事項
耐食ライニングの代表的グレード。
耐食ライニングの代表的グレード。
耐食ライニングの代表的グレード。高真空用。
超厚膜の耐食ライニング。
耐食・耐摩耗性のグレード。高真空用
耐食ライニングの代表的グレード。高真空用
耐食ライニングに帯電防止。高真空用。
耐浸透性に優れた特殊グレード。高真空用。
静電気対策グレード。高真空用
金属溶出対応の特殊グレード。高真空用。
金属溶出対応の特殊グレード。高真空用。
金属溶出対応の特殊グレード。高真空用。
導電性フッ素樹脂コーティング
フッ素樹脂は、電気絶縁性・非粘着性・耐薬品性・すべり性などの特性を有した樹脂です。
しかし、このような特性の中でフッ素樹脂は静電気を発生させる樹脂でもあります。
近年、引火点の低い溶剤を使用する装置・粉塵爆発の危険性がある部位・半導体及び液晶製造ラインにおいて静電
気が原因の事故や不具合が多く発生しています。
イワキコーティング工業㈱では、独自に開発した〔フッ素樹脂の特性を有した導電性フッ素樹脂コーティング〕を完成させ、
従来フッ素樹脂コーティングが使用出来なかった部位に本コーティングを行い、客先の安全性向上・生産性向上・品質
向上に貢献しています。
1. フッ素樹脂(導電性)コーティンググレード一覧表
No.
グレード
ベースレジン
膜厚
色調
表面抵抗値
1
IW-KR195
PTFE
30μm程度
ブラック・グレー・ブルー
6×103~6×106Ω/㎝
2
IW-KR385
FEP
30~600μm程度
グレー系
6×103~6×106Ω/㎝
3
IW-KR815
PFA
30~1000μm程度
ブラック・白色系
6×103~6×106Ω/㎝
4
IW-KX195
PFA
30~1000μm程度
ツヤ消しブラック
6×103~6×106Ω/㎝
5
IW-DB891
PFA
30~1000μm程度
白色系
6×103~6×106Ω/㎝
導電性フッ素樹脂コーティング
フッ素樹脂は、電気絶縁性・非粘着性・耐薬品性・すべり性などの特性を有した樹脂です。
しかし、このような特性の中でフッ素樹脂は静電気を発生させる樹脂でもあります。
近年、引火点の低い溶剤を使用する装置・粉塵爆発の危険性がある部位・半導体及び液晶製造ラインにおいて静電
気が原因の事故や不具合が多く発生しています。
イワキコーティング工業㈱では、独自に開発した〔フッ素樹脂の特性を有した導電性フッ素樹脂コーティング〕を完成させ、
従来フッ素樹脂コーティングが使用出来なかった部位に本コーティングを行い、客先の安全性向上・生産性向上・品質
向上に貢献しています。
2. 実績
1)一般塗料・インキ・トナー・磁性塗料関係
攪拌槽・トレー・サンプリングヒシャク・作業台・配管・各種機器など
2)半導体関係
検査台・各種装置用パネルなど
3)液晶関係
各種テーブルなど
導電性フッ素樹脂コーティング
フッ素樹脂は、電気絶縁性・非粘着性・耐薬品性・すべり性などの特性を有した樹脂です。
しかし、このような特性の中でフッ素樹脂は静電気を発生させる樹脂でもあります。
近年、引火点の低い溶剤を使用する装置・粉塵爆発の危険性がある部位・半導体及び液晶製造ラインにおいて静電
気が原因の事故や不具合が多く発生しています。
イワキコーティング工業㈱では、独自に開発した〔フッ素樹脂の特性を有した導電性フッ素樹脂コーティング〕を完成させ、
従来フッ素樹脂コーティングが使用出来なかった部位に本コーティングを行い、客先の安全性向上・生産性向上・品質
向上に貢献しています。
3. 使用上のご注意
導電性フッ素樹脂コーティングの各グレードは、フッ素樹脂が主成分のため使用条件によっては静電気を発生さ
せますので、不活性ガスを充填し、尚且つ帯電した静電気を逃がすよう必ずアースをとってご使用ください。