Transcript デジタルマスフローコントローラ CMQシリーズ

デジタルマスフローコントローラ
ＣＭＱシリーズ
１．概要
２．特長
３．制御特性
４．機能
５．主な機能の動作説明
１．概要
デジタルマスフローコントローラ
ＣＭＱシリーズ
一般産業市場にて要求される、高速応答、
広い流量制御範囲、低圧供給ガスでの制御
などの性能や多彩な機能を備えた、今まで
にない高性能・高機能のデジタルマスフロー
コントローラ
超高速応答・高感度の「μＦセンサ」、「比例ソ
レノイドバルブ」、「高度な流量制御技術」の
三つを一体化して実現！
図．１ ＣＭＱシリーズの外観
図．２ ＣＭＱシリーズの内部構造
図．３
構成ブロック図
２．ＣＭＱの特長
・高速流量制御
制御応答性：０．５秒以下
・広い制御範囲
１～100%FS
・低差圧動作
低差圧(0.05MPa以下)でも動作を保証
・設定・表示部を標準装備
一体形表示モデル・分離形表示モデルをラインナップ
電源以外の電気配線なしでも動作可能
・多彩な機能
１０種類以上の機能を標準装備
・単一電源動作（ＤＣ１５～２４Ｖ）
安価な汎用電源が使用可能（±１５Ｖ専用電源は不要）
３．ＣＭＱの制御特性（他社との比較）
SP
20L/min
16L/min
12L/min
8L/min
4L/min
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
図４
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
スタート時の制御流量特性１
(ΔP=0.05MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
SP
20L/min
16L/min
12L/min
8L/min
4L/min
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
図５
↑制御開始
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
スタート時の制御流量特性２
(ΔP=0.3MPa、横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
SP
20L/min
12L/min
4L/min
→｜１秒｜←
（ａ）他社ＭＦＣ
→｜１秒｜←
（ｂ）山武ＣＭＱ００２０
図６ 圧力変動時の制御流量特性
(ΔP=0.30MPa→0.27MPa→0.30MPa、
横軸：1s/div、縦軸：20%FS/div）
４．ＣＭＱの機能
・流量積算機能（最大８桁）
ＣＭＱ９５００：0.00L～999,999.99L
ＣＭＱ０００２： 0.0L～9,999,999.9L
・異常検出機能（異常表示/出力/バルブ自動閉止）
制御流量異常、バルブ駆動電流異常、自己診断による異常
・イベント出力（２出力）
流量ＯＫ出力、積算カウントアップ出力、動作モード出力、他
・バルブ自動閉止機能
異常検出時、積算カウントアップ時に自動的にバルブを閉止
・バルブ強制開閉機能
ＲＵＮキー操作、外部切替入力により強制全閉・全開が可能
・バルブ駆動電流モニタ/異常検出
供給圧力の低下やバーナノズルの目詰まり検出が可能
・マルチ設定機能（最大４種類）
最大４種類の流量設定を外部切替入力にて瞬時に変更可能
・ダイレクト設定機能（ＥＮＴキー操作なしでの設定変更）
試運転時の設定流量調整など頻繁に設定変更するときに便利
・スロースタート機能（約１～６秒）
制御開始時、設定変更時の流量の急激な変化を抑制
・ガス種類切り替え機能（標準対応ガスの場合）
使用するガス種類をキー操作にて簡単に選択可能
・ガス種類補正係数設定機能（標準対応ガス以外の場合）
特殊ガス・混合ガスにも補正係数（コンバージョンファクタ）を
設定すれば対応可能
・ＲＳ－４８５通信機能（オプション）
全ての表示/設定内容を通信にて読み出し/書き込み可能
５．主な機能の動作説明
（１）流量ＯＫ出力（イベント出力）
（２）流量偏差アラーム検出
（３）バルブ駆動電流アラーム検出
（４）マルチ設定機能
（１）流量ＯＫ出力
PV
OK判定
範囲
OK判定
ﾋｽﾃﾘｼｽ
SP0
SP1
t
制御開始
OFF
OK出力
ON
t
SP変更(SP0→SP1)
（２）流量偏差アラーム検出
PV
偏差ｱﾗｰﾑ上限
ﾋｽﾃﾘｼｽ
偏差ｱﾗｰﾑ上限
SP
偏差ｱﾗｰﾑ下限
偏差ｱﾗｰﾑ下限
ﾋｽﾃﾘｼｽ
流量低下
ｱﾗｰﾑ判定
ﾃﾞｨﾚｲ時間
t
ｱﾗｰﾑ OFF
出力
ON
t
（３）バルブ駆動電流アラーム検出
供給圧力
①供給圧力低下
②駆動電流上昇
t
バルブ駆動電流
100%
ｱﾗｰﾑ上限
ｱﾗｰﾑ判定
ﾃﾞｨﾚｲ時間
ｱﾗｰﾑ下限
0%
t
ｱﾗｰﾑ OFF
出力
ON
t
（４）マルチ設定機能
PV
SP3
SP2
SP1
DI1
DI2
SP0
OFF
OFF
SP1
ON
OFF
SP2
OFF
ON
SP3
ON
ON
SP0
t
DI1
OFF
ON
DI2
t
OFF
ON
t
SW1
SW2
種火
OFF
OFF
本火１
ON
OFF
本火２
OFF
ON
本火３
ON
ON
図７ バーナ空燃比制御でのアプリケーション例