Transcript PEGASUS개요
PEGASUS 소개 “플라즈마/기체상태 시뮬레이션” Software ㈜ 지엔씨솔루션 Plasma Enhanced materials processing and rarefied GAS dynamics Unified Simulation tools 목 차 PEGASUS 제품 개요 제품군 제품 구성 제품 기능도 제품 (장치유형, 해석목적에 따라 모듈 선택) 2차원 플라즈마 시뮬레이션 모듈 표면과학계 MODULE 형상 시뮬레이터 (FPSM2D/FPSM3D) PEGASUS 기상·표면과학계모듈 해석 예 특징 및 주요 화면 고객사 ◈ PEGASUS 제품 개요 ◈ 제품군 플라즈마 장치의 중성 가스/플라즈마의 Behavior 시뮬레이션 진공용기의 희박기체 Dynamics behavior 시뮬레이션 PVD, CVD와 dry etching에 의한 표면 프로파일 시뮬레이션 ◈ 제품 구성도 GUIM ２차원 플라즈마 하전입자 운동해석 気相 MODULE 기체반응 MSSM PHM ３차원 희박기체 운동해석 플라즈마 운동해석 정자장해석 Database RGS3D PIC-MCCM 형상(Feature profile) 시뮬레이터 FPSM2D/FPSM3D NMEM 기체 운동해석 DSMCM ３차원 MAGNETRON 스패터장치 플라즈마 해석 IMCSM （ IEDF해석 ） 표면과학계 모듈 입사이온 IEDF,IADF 해석 SMCSM MSSM3D 스패터입자 박막분포해석 이온 주입 해석 SASAMAL SPUTSM DSMCM PIC-MCCM3D ◈ 제품 기능 PHM (Plasma Hybrid Module) PIC-MCCM (Particle-In-Cell with Monte Carlo Collision Module) NMEM (Neutral Momentum Equation Module) DSMCM (Direct Simulation Monte Carlo Module) MSSM (Magneto-Static Simulation Module) RGS3D (3D Rarefied Gas dynamics Simulation software) FPSM2D (Surface Profile Simulation Module) SMCSM (Sheath Monte Carlo Simulation Module) SASAMAL (Simulation of Atomic Scattering in Amorphous Materia l based on Liquid model） SPUTSM (Sputtering Simulation Module） GUIM (Graphical User Interface Module) Reactor나 하이브리드모델내의 전하입자의 공간밀도분포와 자 장 등 계산 Reactor나 하이브리드모델내의 전하입자의 공간밀도,에너지분 포와 자장 등 계산 연속체 모델의 각 중성기체 종의 공간밀도,압력의 계산 DSMC방법과 몬테카를로 방법으로 입자 모델에 의하여 각 중 성기체 종의 공간밀도,온도,압력의 계산 영구자석이나 코일자석의 자기플럭스밀도의 공간분포 계산 3차원 공간 형태의 중성가스의 밀도,온도,압력의 공간분포 계 산 서브마이크론 영역의 입자의 이송이나 표면의 물리/화학적 반 응을 고려한 트랜치나 홀형의 시간적 분포를 계산 외장(sheath)내의 시간 의존적인 전자와 이온의 운동을 추적하 여 목표물이나 기본성질 상의 입사에너지분포와 각분포를 계산 Dr. Miyagawa에 의하여 개발된 다량 이온이식 및 과 Sputtering) 시뮬레이션 SASAMAL을 사용하여 흩어진 입자의 플럭스, 각 분포와 에너 지 분포 계산, 입사이온플럭스, 이온에너지, PIC-MCCM에서 나 온 이온의 입사각의 결과를 계산 사전과 사후작업을 그래피컬 인터페이스로 손쉽게 함 ◈ 제품 (장치유형, 해석목적에 따라 모듈 선택) 플라즈마해석 중성기체해석 정자장 예 희박기체 아니오 MSSM No Yes NMEM 장치유형 CCP장치 ICP장치 MAGENETRON 스패터 장치 2D,3D 2D GAS압력 3D DSMCM 높음 PHM RGS3D 낮음 적다 DSMCM NMEM PHM PIC-MCCM 입자 종류 많다 NMEM ◈ 2차원 플라즈마 시뮬레이션 모듈 ◈ 가스상태 원자/분자 반응 데이터베이스 ◈ 표면과학계 MODULE 이온주입해석 모듈 SASAMAL 입사 이온 선량 에너지 해석 스패터 해석 모듈 Sheath해석 모듈 SPUTSM SMCSM 벌크 플라즈마 SPUTTERING율 SPATTER입자각도・ 에너지 분포 비정질(非晶質) TARGET 입사이온 도달한 하전입자의 에너지・각도분포 Depth profile 조성분포의 변화 아모루후의 스타ー 입수 ※ 비정질(非晶質, amorphous) 원자 배열이 불규칙적이고, 비결정질인 고체 물질. 기판(基板) S H E A T H 영 역 ◈ 형상 시뮬레이터 (FPSM2D/FPSM3D) 목적 ： PVD、플라즈마CVD、드라이에칭 같은 프로세스에 기판・퇴적막형의 경과 변화 해석차원, 해석대상 : 2차원 데카르트 좌표, 2차원 TRENCH(참호)형상, 3차원 데카르트 좌 표, 3차원 TRENCH(참호), 홀 형상 계산방법 ：MC法 (몬테카를로) 형상표현 ：Cell모델 반사・반응 ：입사각도, 입사 에너지의 의존 입사입자정보 ：PEGASUS기상・표면과학 모듈로부터의 출력파일 혹은 사용자의 입력사 양을 지정 ◈ PEGASUS 기상·표면과학계모듈 해석 예 CCP장치 플라즈마 시뮬레이션 (PIC-MCCM + NMEM) ICP装置 플라즈마 시뮬레이션 (PHM + DSMCM) 마그네트론 스패터 장치 플라즈마 시뮬레이션 (MSSM + PIC-MC CM) 마그네트론 스패터 장치 스패터 입자운동 시뮬레이션 (MSSM + PI C-MCCM + SPUTSM + DSMCM) 마이크로 플라즈마의 시뮬레이션 (PHM) ◈ 특징 및 주요 화면 LED등 하이테크 제품 생산 진공증착공정 시뮬레이션 Global top 중성/희박/플라즈마 상태 시뮬레이션 OLED증착공정 시뮬레이션 결과 Flux분포 결과 2D/3D 시뮬레이션, 손쉬운 사용자 GUI 밀도 Ar+ Flux Ar+ Flux 자장 밀도 변화 ◈ 고객사 Area Customers in Japan manufacturing of electronic devices Including semiconductor and FPD CANON, PANASONIC, TOSHIBA、 MITSUBISHI MATERIALS,MITSUBI SHI PLASTICS,FUJIFILM,NITTO DE NKO, DAI NIPPON PRINTING, RENESAS,TOYOTA etc. manufacturing of plasma/vacuum equipments ULVAC, TOKYO ELECTRON, TOKKI,KOBELCO, etc. vacuum pump makers, manufacturing of semiconductor equipments and makers in the field of vacuum/plasma technologies CANON,NIKON,NISSIN ELECTRIC, EPSON,BRIDGESTONE,TOSOH, NGK,NSG etc. Research institute AIST,JAXA,ＥＵＶＡ,Universities etc. Customers in Korea Samsung SMD ◈ Trial 절차 절 차 비 고 제품 CD요청 CD와 USB Key발송 (1.5개월 사용 License) 설치 및 사용, 사용확정 및 구매 일본 전문가 교육 (비용 별도) Key Renewal (1년 혹은 영구) 구매하지 않을 경우 CD와 Key Return (우편) ※ Technical service, Training service을 별도로 원하는 경우 일본현지 기술자 내방 (유료) ◈ 공급사 소개 주식회사 지엔씨솔루션 한국 대리점 2000년 7월 설립. 컨설팅 및 솔루션 전문회사 2009년 PEGASUS사 한국대리점 Http://www.gncsolution.co.kr 본 사 PEGASUS 주식회사 일본 이또쭈상사의 Scientific Software전문 계열사에서 독립 하여 2002년 5월 PEGASUS사 설립 http://www.psinc.co.jp/ 감사합니다. 010-8226-7470, [email protected]