Transcript 主鏡支持機構概念設計

主鏡支持機構概念設計8
2012年10月29日
栗田光樹夫
設計変更
• アキシャル支持
– 27点（3*3*3）→9点(3*3)支持
– 球面軸受→細長いロッド
• ラテラル支持
– 3点→中央1点＋セントラルタワー
– ローラースライド→板バネ（ダイアフラム）
9点支持の評価
位相
RMSエラー
(nm)
P-V
1-0.5-1-2
31
175
1-1-1-3-3
14.8
96
１－0.5－1－2以外に
ない。
9点支持
Φ250のセンターホールあり
ラテラル支持部品あり
構造関数の比較
アキシャルロッド
• 鏡裏面の面内方向の外力に対する
面形状の変形：
– P-V=1.2 nm/N
• 横方向組立誤差
– 0.5 mm
• アキシャルロッド45mmφ2
– 20N/mm
• 組立誤差による形状変形
– P-V = 10nm
ラテラルサポート
接合面×4
• ダイアフラム
– Φ214 t0.5
板バネ×4
熱膨張の逃げ
ダイアフラム
• Φ220mm t0.3mmのダイアフラム
– アキシャル 0.5 mm/N
• ±0.5 mmの駆動による応力は100gf
• RMS = 2.6 nm, P-V = 12.7 nm
– ラテラル 16 um/ 70kgf
– 18枚が同じようにズレるので絶対
値に意味はない。バラつきが重要
リミット機構
• リミット機構
– アクチュエータの暴走
– 脱着時のハンドリングエラー
リミット
– 地震等
ダイアフラム
リミットプレート
ラテラル支持断面
ラテラルとアキシャル支持のFlexure
ツリーのダイアフラム
アキシャルロッド (45mm)
ベース
鏡の脱着
M3×6
（ツリーダイアフラムとベース）
M8×3
（ラテラルダイアフラムとベース）
油圧ジャッキインターフェース
クランプハンドル
ジャッキアップ
M3×3
(アキシャルロッドとアクチュエータ）
油圧ジャッキ
Y
X
ワーピングハーネスの検討1
X0 Y+
X- Y0
X- Y+
X+ Y+
ワーピングハーネスの検討2
これまで
• 初期設計を終え、内周1セット分を発注した。
• 1セット当たりおよそ35万円。