Transcript Frange di Haidinger G. Sansoni: Misure Ottiche

Interferometro di Michelson
Layout ottico
G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3
Interferometro di Michelson (2)
• Interferenza
distruttiva per
2d cos m  m0
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Come si muovono le frange
(M1 parallelo M2)
Frange di Haidinger
G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3
Come si muovono le frange
(M1 parallelo M2)
Intensità al
fotodiodo
G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3
Come si muovono le frange
(M1 non parallelo a M2)
Frange di Fizeau
G. Sansoni: Misure Ottiche-Interferometri-3
Come si muovono le frange
(M1 non parallelo M2)
Intensità al
fotodiodo
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Cui prodest?
dm=4,803432mm
2d cos m  m0
d=4,803511mm
2d  m0
d=4,803592mm
0
dm
2
d=4,803669mm
 0 
d  N 
 2 
dm+1=4,803749mm
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Interferometro di Twyman-Green
(1)
• Controllo di difettosità delle lenti
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Interferometro di Twyman-green
(2)
• Controllo di superfici ottiche (specchi,
prismi..)
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Possibili difettosità delle lenti
Aberrazione sferica
Coma
Curvatura
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Astigmatismo
Distorsione
In commercio
• Interfire 10.6
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Panoramica generale
Macroprofilometria
1,E-01
1,E-02
Telemetria
Risoluzione di misura [m]
1,E-03
Controllo dimensionale
1,E-04
1,E-05
Microprofilometria
1,E-06
Taratura
1,E-07
1,E-08
Vibrometria, NDT
Controllo di finitura
1,E-09
1,E-10
1,E-11
1,E-12
1,E-08 1,E-07 1,E-06 1,E-05 1,E-04 1,E-03 1,E-02 1,E-01 1,E+00 1,E+01 1,E+02 1,E+03
Range di misura [m]
Interferometri per taratura
Autofocus
Triangolatori SP - Laser
Triangolatori a campo intero
Interferometri per profilometria
Scatterometri
Triangolatori SP - Led
Telemetri
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Vibrometri
Micrometri ottici
Triangolatori MP
Interferometro di Mach- Zehnder
specchio
sorgente
Specchio
semiriflettente
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detector
Complicazioni e sviluppi
• Rivelazione ad eterodina
• Effetto Doppler
• Misura di velocità
• Misura di vibrazione
• Misura di profili (Profilometro MP2000)
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