Transcript Do_mang_dien

VẬT LÍ MÀNG MỎNG
MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN
PHƯƠNG PHÁP ĐO
HVTH: LÊ HOÀNG NAM
LOGO
LOGO
PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG
 Phương pháp nhiễu xạ tia X
 Phương pháp Stylus
Phép đo hiệu ứng Hall
 Phương pháp đo điện trở suất
 Phương pháp sử dụng phần mềm Scout
LOGO
PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X
LOGO
 Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt
 Cơ sở :
Công thức Sherrer
0.9
b
(2 ) cos
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
LOGO
 Mục đích : Xác định độ dày của màng
 Sơ đồ khối của máy đo Stylus :
LVTD
Điều kiện tín hiệu
Mẫu
Chuyển đổi A/D
Bàn soi
Bộ nhớ máy tính
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
LOGO
 Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động
 Cơ sở :
FL  q.(VD  B)
Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
Ở trạng thái cân bằng
q Ey  q  Ex Bz
 Ey   Ex Bz
Ta có :
RHall 
 RHall 
Ey
Bz . jx
.Ex .Bz 

1
 

 .Ex .Bz  q.n. q.n
LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo điện trở vuông
  R .d
LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo bốn mũi dò
Cách đo:
Công thức tổng quát
với
  Rs .d

U
Rs 
. .G
ln 2 I
G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào
hình dạng và kích thước của mẫu)
LOGO
Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout
LOGO
 Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùng
cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh
động.
 Nguyên tắc :
Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số
quang ban đầu của vật liệu
Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó
dựa trên các thông số đã khai báo
Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết
trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất.
Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt
nhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.
LOGO
CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦY
VÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI