Transcript 研磨手法の確立に向けて

研磨関連報告
於:
（株）ナノオプトニクス・エナジー
高橋啓介
2011/01/08
国立天文台岡山天体物理観測所会議室
もくじ
・曲率基準鏡の研磨について
・「やとい」つき研磨の流れ
・予定
曲率基準鏡
CGHユニット
レ
ー
ザ
ー
・セグメントとＣＧＨ干渉計のみではワークのＲについての
情報が得られない（① or ②）
・ワークの厚みなどに違いのある複数のセグメントの
Ｒをそろえる必要
①
・曲率基準鏡（研削機に固定）をＣＧＨで測定
→フラットに見える高さにＣＧＨユニットを移動
② ・セグメントと曲率基準鏡の高低差を
レーザー変位計で測定
→高低差分だけさらにＣＧＨユニットを移動
3
曲率基準鏡研磨
1:面粗さを取るための研磨
（Ｒ付きΦ60パッド使用）
2:CGH 撮像、形状取得
3:形状補正
（ＲなしΦ30パッド使用）
研磨前最終形状
目標形状
→40mm幅でP-V:600nm
研磨過程 9/21～9/30
①：研磨１後
（Φ60, 156min.）
②：研磨２後
（Φ30, 116min.）
共通パラメータ
回転数：160 rpm
錘質量：7kg
③：研磨３後
（ Φ30, 311min.）
Φ30パッド（フラット）のＰＳＦ測定
④：研磨４後
（ Φ30, 114min.）
最終形状
①
②
③
④
基準高さの測定精度
・ＣＧＨユニットの高さを40umステップで変化させて曲率基準鏡を測定
・前後の形状差をプロット
・40umの違い（20nm程度の形状差）を識別可能
やとい付き研磨 これまでの問題点
エッジ付近の形状
エッジ付近→軸の中心までしかパッドが行けない
パッド半径程度の領域が盛り上がって残ってしまう
滞在時間の調整のみでは補正できない→うまく研磨する方法は？
やとい付き研磨 効能
エッジ付近の研磨が難しい理由→パッドが落ちてしまうから
パッドが落ちないようにする！
セグメント
やとい
研磨に要する時間を大幅に削減できる可能性
やといつき研磨の流れ
やとい：R大側円弧×２、側面×２、R小側円弧×１
１：やといのみで研削（上下辺、左右辺のセット）
２：セグメントの周囲に設置
→レベリングブロックで高さ調整（段差5um以内目標）
→ナガセインテグレックス製剣山治具で高さ固定
３：CGHで形状を確認しながら研磨
今後の予定
・来週、横やとい加工終了
・上下辺やといの研削開始 ～１月末
・冶具調整
・3月以降、やとい付き研磨開始