Transcript TEKNOLOGI RANGKAIAN TERINTEGRASI - Elista

TEKNOLOGI RANGKAIAN TERINTEGRASI
Oleh:
Sigit Priyambodo,S.T.,M.T.
TUJUAN :
Mata kuliah Teknologi Rangkaian Terintegrasi
bertujuan agar mahasiswa mempunyai
kemampuan sebagai berikut :
1. Memahami perkembangan ilmu dan teknologi
mikroelektronika
2. Memahami ilmu dan teknologi pengolahan
divais mikroelektronik, khususnya fabrikasi
divais rangkaian terintegrasi (integrated circuit)
3. Memahami, menjelaskan, dan mencari solusi
masalah dalam proses fabrikasi divais IC
(problem solving).
MATERI POKOK
• Perkembangan ilmu dan teknologi
mikroelektronika dan divais IC, bahan
semikonduktor, fotolitografi, proses
fabrikasi divais IC, teori difusi, evaluasi
distribusi impuriti, evaluasi profil impuriti
(problem solving), konsep struktur dan tata
letak dalam divais IC, design rules untuk
perancangan tata letak dalam divais IC,
gambar tata letak sebuah divais IC.
PRA SYARAT
• Bahan Listrik
• Rangkaian Elektronika
• Divais Mikroelektronika
PUSTAKA
• S. M. Sze, VLSI TECHNOLOGY, McGraw-Hill Book Co,
1985
• Hamilton, Howard, BASIC INTEGRATED CIRCUIT
ENGINEERING, McGraw-Hill Kogaakusha Ltd, Tokyo,
1975
• Ruska, MICROELECTRONIC PROCESSING, McGrawHill Book Co, Singapore, 1988
• Millman, Halkias, INTEGRATED ELECTRONICS,
McGraw-Hill Book Co, Singapore, 1985
• Soclof, Sidney, DESIGN and APPLICATIONS of
ANALOG IMTEGRATED CIRCUIT, Prentice Hall, 1991
• S. Reka Rio, Masamori Iida, FISIKA DAN TEKNOLOGI
SEMIKONDUKTOR, Pradnya Paramita, Jakarta, 1980
EVALUASI
•
•
•
•
Tugas ......................... 50%
UTS …………............. 20%
UAS …………............. 20%
Presensi ..................... 10%
MATERI
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
•
Teknologi rangkaian terintegrasi
Proses fabrikasi dasar rangkaian terintegrasi: pertumbuhan kristal substrat,
pertumbuhan epitaksial, pertumbuhan silikon dioksida, fotolitografi, pembuatan
masker dan etching.
Teori difusi: hukum difusi Fick
Proses difusi: complementary error function, distribusi Gaussian, solid solubility,
koefisien distribusi
Proses difusi dua tahap, profil impuriti untuk transistor IC, tata letak transistor IC
monolitik
Fabrikasi komponen elektronik dalam bentuk IC monolitik: dioda, resistor, kapasitor,
dan interkoneksi aluminium
Aturan perancangan IC monolitik
Perancangan masker untuk: transistor
Perancangan masker untuk: kapasitor dan resistor
Transistor MOS
Konstruksi transistor MOS
Implantasi ion
Pengaturan implantasi ion